什么是勻膠機(jī)？勻膠機(jī)的滴膠系統(tǒng)，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。

勻膠機(jī)使用什么電機(jī)呢？這里使用高速無刷電機(jī)3萬轉(zhuǎn)，勻膠的轉(zhuǎn)速快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。 使用高速無刷電機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡單，性能穩(wěn)定的特點(diǎn)，替代有刷電機(jī)的碳刷磨損，壽命低，也替代交流電機(jī)的轉(zhuǎn)速偏低，體積偏大。

為什么勻膠機(jī)需要中空軸呢？勻膠機(jī)主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵，起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。